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      質量流量計MFM 2130

      點擊次數:次????更新時間:2017-03-16 11:05:53

      基于MEMS工藝的熱式質量流量技術;

      重復性、復現性、穩定性強;

      氣體控制精度高,可快速響應;

      大于1000:1的動態量程比;

      在很大的測量范圍內,也能保持良好的線性度;

      結構緊湊,幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量;

      模塊化設計,為OEM客戶量身定制。

        緊湊的質量流量計配有RS-485全雙工通訊接口,基于Axetris專利的鉑金MEMS技術(MEMS:微電子機械系統)它提供了以下的優勢

        ·緊湊的外形尺寸

        ·快速的穩定時間

        ·極佳的重復性和精度

        ·堅固的設計

        ·高量程比

        ·極佳的長期穩定性

        它被推薦用于獨立的應用和集成在工業,分析和醫療系統上的應用


      參數單位
      典型值
      流量范圍
      sccm
      20,50,100,250,1000,3000
      目標氣體N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
      流量精度0-10%% F.S
      0.2(250sccm,N2,4bara)
      流量精度10-100%% O.R
      1(250sccm,N2,4bara)
      傳感器響應時間

      ms

      4

      供電電壓V
      24
      模擬量輸出
      V
      4…20
      數字量輸入輸出
      RS-232 EIA





      Axetris質量流量技術被用于眾多行業,廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。



      ■ 分析儀器


      氣相色譜分析

      質譜分析原子光譜分析

      元素分析

      熱值分析生物反應器和發酵設備



      ■ 工業領域



      泄漏測試

      薄膜鍍層控制CO2激光切割



      ■ 醫療領域


      氧氣混合設備通風裝置及呼吸設備控制





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