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      質量流量計MFM Plus – 新產品

      點擊次數:次????更新時間:2017-03-16 11:04:39

      基于MEMS工藝的熱式質量流量技術;

      重復性、復現性、穩定性強;

      氣體控制精度高,可快速響應;

      大于1000:1的動態量程比;

      在很大的測量范圍內,也能保持良好的線性度;

      結構緊湊,幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量;

      模塊化設計,為OEM客戶量身定制。

        這種質量流量計的量程可擴展到15,000 sccm。具有無與倫比的動態量程和超緊湊尺寸的特點。

        技術優勢

        ·無與倫比的動態量程

        ·出色的可重復性

        ·超緊湊的尺寸

        ·專為OEM客戶設計


      參數單位
      典型值
      流量范圍
      sccm
      0-15,000
      外形尺寸
      mm
      50×52×22(質量流量控制器OEM模塊)
      流量精度±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取較大值
      Repeatability±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取較大值
      Resolution

      %

      F.S.

      0.1

      Remarks如您需要更為詳細的資料,敬請查閱產品相關的技術規格書





      Axetris質量流量技術被用于眾多行業,廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。



      ■ 分析儀器


      氣相色譜分析

      質譜分析原子光譜分析

      元素分析

      熱值分析生物反應器和發酵設備



      ■ 工業領域



      泄漏測試

      薄膜鍍層控制CO2激光切割



      ■ 醫療領域


      氧氣混合設備通風裝置及呼吸設備控制





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